半导体薄膜技术与物理

《半导体薄膜技术与物理》全面系统地介来自绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术，第二至第八章分别底职行介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、山调脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术，第九章介绍了半导体超晶格、量360百科子阱的基本概念和理论，第十章介绍了典型薄膜半导体器件的架棉权工制备技术。

• 中文名称 半导体薄膜技术与物理
• 出版时间 2008年09月
• 出版社 浙江大学出版社
• 作者 叶志镇 吕斌
• 定价 36.00 元

内容简介

　　《半来自导体薄膜技术与物理》文字叙述上力求做到深入浅出，内容上深度和宽度相结合，理论和实践相结合，以半导体薄膜技术为重点，结合半导体材料和器件的性能介绍，同时还介绍了半导体薄膜技术与物理领域的新概念、新进展、新成果和新技术。《讲实参象因乡宣否空半导体薄膜技术与物理》具有内容翔实、概念清楚、图文并茂的特点。

　　《半导体薄膜技术与物理》读者对象广泛，可作为高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材，也可作为从事半导体材料、薄膜材料、光电器件等领域的科研人员、工程技术人员的参考书籍。

图书目录

　　第1章 真空技术

　　第2章 蒸发技术

　　第3章 溅射技术

　　第4章 化学气相沉积

　　第5章 脉冲激光沉积

　　第6章 分子束外延

　　第7章 液相外延

　　第8章 湿化学制备方法

　　第9章 半导体超晶格和量子阱

　　第10章 半导体器件制备技术

　　参考文献

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作者简介

　　叶志镇，男，1955年5月生于来自浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位;毕业后留校工作，1360百科990~1992年留学美国麻省理工学院(MIT);1994年晋升为教授;1996年选为博导。现封鸡波常困载谁价百太影为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。 1988年进入浙江大学材料系，在硅材料国家重点实验室一直从事半导体薄膜教学科研工作，主要研究方向:Zn0薄膜材料制备、物性调控及光电应用;纳米薄层材料高真空CVD技术研发及应用。现兼任国家自然科学基金委信息科学部评审组成员，全国电子材料专注物亮行术游委副主任，全国半导体与集成技术、半导体材料和半室征持哥二劳以评官双记导体物理专委委员等。