微机电系统应用

《微机电系统应用》是2009年7月机械工业出版社出版的图书，作者为M否干oahmed 来自Gad-el-Hak，译者是赵小林。

• 书名 微机电系统应用
• 作者 Moahmed Gad-el-Hak
• 译者 赵小林
• 出版社 机械工业出版社
• 出版时间 2009年7月

简介

　　《微机电系统应用》是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括:惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。

图书目录

　　译丛序言

　　译者序

　　第1章 绪论

　　参考文献

来自　　第2章 惯性传感器

　　2.1 360百科简介

　　2.2 惯性传感器的应用

　　2.3 加速度的基本概念

　　2.4 直线运动惯性传感器参数

　　2.5 旋界安宽转运动的惯性传感器参数

　　2.6 惯性传感器件的微机械加工技术

　　2.7 微加工工艺加工问题

　　2.8 惯性传感器的系统问题

　　2.9 结束语

　　参考文献

　　第3章 微机械压力置曲绝众款裂传感器:器件、接口电路及性能

　　3.1 简介

　　3.2 器件结构和性能测试

　　3.3 压阻式压力传感器

　　3.4 电容式压品依器独居或罗奏力传感器

　　3.5 伺服控制压践力传感器

　　3.6 其他压力传感方式

　　3.7 结论

　　参考文献

　　第4章 表面微加工器件

　　4.1 引言

　　4.2 受对难巴与否向材料特性和几何结构

　　4.3 应力与应变

　　4.4 机械设计

　　4.5 封装

　　4.6 应用

　　4.7 MEMS失效机理

　　4.8 结论

　　参考文献

　　第5章 微执行器

　　5.1 引言

　　5.2 压电执行器

　　5.3 电磁驱动器

　　5.4 形状记忆合金驱动器

　　参考文献

　　第6章 湍流传感器与执行器

　　6.1 绪论

　　6.2 MEMS工艺概述

　　6.3 湍流

　　6.4 用于湍流测量和控制的传感器

　　6.5 用于流动控制的微执行器

　　6.6 微透平机械

　　6.7 结论

　　参考文献

　　第7章 微机器人技术

　　7.1 引言

　　7.2 什么是跳二善须营护底微机器人

　　7.3 微机器人的应用环境

　　7.告八继频以苦半副神4 微机器人的制造技术

　　7.5 晚微机器人器件

　　7.6 多机器人系统(微型工厂和桌面工厂)

　划　7.7 结论与讨论

　　参考文献

　　第8章 微型真空泵

　　8.1 引言

　　8.2 基础知识

　　8.3 泵尺度

　　8映土众硫.4 MEMS真空系受贵重回时离护加明镇统的极限压强和抽气能力

　　格独才必企感8.5 MEMS系统的工作压强和Ⅳ需求

　　8.6 尺度规律综述

　　8.7 新型泵送技术

　　说岩异很文我轴弱制8.8 结论

　　参考文献

　　第9章 非线性动电器件

　　9.1 引言

　　9.2 非线性动电现象

　　9.3 交流动电现象

　　9.4 小结

　　参考文献

　　第10章 微液滴发生器

　　10.1 简介

　　10.2 微液滴发生器的工作原理

　　10.3 物理和设计问短下脚及刻督婷内三如欢题

　　10.4 微液滴发生器的制造

　　10.5 液滴产生的特性

　　10.6 应用

　　10.7 结束语

　　参考文献

　　第11章 微热管和微散热器

　　11.1 概述

　　11.2 单个微热管

　　11.3 微热管阵列

　古听片则呀三系够委　11.4 平板微散至热器

　　11.5 指写新设计

　　11.6 概要和结论

　　参考文献

　　第12章 微通道热沉

　　12.1 绪论

　　12.2 微通道内放记对流换热的基本原理

　　12.3 微通道内单相对流换热

　　12.4 微通道内两相对流换热

　　12.5 小结

　　参考文献

　　第13章 流动控制

　　13.1 绪论

　　13.2 一般性原理

　　13.3 "驯悍记"(The taming of the Shreu)

　　13.4 湍流控制

　　13.5 抽吸

　　13.6 相干结构

　　13.7 反应式流动控制

　　13.8 磁流体控制

　　13.9 混沌控制

　　13.10 软计算

　　13.11 应用MEMS技术的反应式控制

　　13.12 总结

　　参考文献

　　第14章 用于边界层减阻的反应式控制

　　14.1 绪论

　　14.2 近壁流向涡

　　14.3 反相控制

　　14.4 基于壁上检测的反应式控制

　　14.5 有源壁运动

　　14.6 结束语

　　参考文献

　　第15章 自由剪切流的MEMS自主控制

　　15.1 绪论

　　15.2 自由剪切流

　　15.3 剪切层MEMS控制系统组件和问题

　　15.4 三角翼上滚动力矩的控制

　　15.5 超声速射流啸音的控制

　　15.6 低雷诺数翼上分离的控制

　　15.7 对未来的思考

　　参考文献

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